AGC EUVフォトマスクブランクス、生産能力を倍増

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2022年2月16日

AGCはこのほど、グループ会社であるAGCエレクトロニクス(福島県郡山市)での、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定したと発表した。2023年1月から生産を開始し、段階的に増強を行うことで同社グループのEUVマスクブランクス生産能力は2024年に現在の約2倍に拡大する。

EUVマスクブランクスを製造する本宮工場

 近年、半導体生産のEUVプロセスは、

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