昭和電工マテリアルズ CMPスラリー増産、茨城県の補助事業に

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2022年11月28日

 昭和電工マテリアルズは24日、山崎事業所勝田サイト(茨城県ひたちなか市)で計画している半導体集積回路向けの平坦化用研磨材料「CMPスラリー」の設備投資について、茨城県が創設した「次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金」の対象事業として認定されたと発表した。

茨城県の補助金認定(左から茨城県 大井川知事、昭和電工マテリアルズ 髙橋社長)

 CMPスラリーは、

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