レゾナックは1日、パワー半導体の材料であるSiC（炭化ケイ素）エピタキシャルウェハーについて、現在量産している第2世代ハイグレードエピウェハーの品質をさらに改善した第3世代のハイグレードエピウェハーを開発し、量産を開始したと発表した。
SiCパワー半導体は、
レゾナック ハイグレードSiCエピ、第三世代を開発
2023年3月2日
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