平滑性と取扱性を両立、先端デバイスなどに展開
東レはこのほど、二軸延伸ポリエステルフィルム「ルミラー」について、独自の二軸延伸技術と特殊処理を組み合わせ、滑剤粒子を用いることなくフィルム表面にナノオーダーの微細な突起を高密度に形成する革新技術を開発した。これにより、フィルムの平滑性とハンドリング性(取扱性)を両立している。
同開発品は、微細化がますます進む半導体や電子部品用の機能性フィルム、それらの製造工程フィルムなどを中心に、幅広い用途への展開が期待される。既に
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