NEDO 半導体ウエハーの転移とひずみの分布を可視化

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2022年7月13日

 NEDO(新エネルギー・産業技術総合開発機構)はこのほど、名古屋大学(原田俊太准教授:未来材料・システム研究所)とMipoxが、半導体基板を製造する際に発生する結晶欠陥(転位)をカウントするシステムの構築と、ウエハー全体の

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