ADEKA EUVフォトレジ向け光酸発生剤、設備竣工

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2023年5月29日

 ADEKAはこのほど、千葉工場で建設を進めていたEUV(極端紫外線)フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成し、竣工式を行ったと発表した。今年8月からの稼働を予定している。

光酸発生剤増能設備

 5G通信の拡大やAI、

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