JSR EUV用金属レジスト、SK社のメモリに応用

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2022年8月4日

 JSRはこのほど、グループ企業であるインプリアのEUV(極端紫外線)用金属酸化物レジストについて、SKハイニックスの最先端DRAMチップ製造への応用検討が加速していると発表した。

 昨年10月にJSRグループに加わったインプリアは、 “JSR EUV用金属レジスト、SK社のメモリに応用” の続きを読む