三菱ケミカルグループ レジスト用感光性ポリマー、福岡で能力増強 三菱ケミカルグループ , 生産能力を増強 , フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」 , 九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市） , 各量産設備を新設 2024年6月17日 三菱ケミカルグループはこのほど、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため、九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市）において、ArF（フッ化アルゴン）フォトレジスト用およびEUV（極端紫外線）フォトレジスト用の各量産設備を新設すると発表した。稼働時期は、ArFフォトレジスト用が2025年10月、EUVフォトレジスト用が同年9月を予定している。 感光性ポリマー「リソマックス」 フォトレジスト用感光性ポリマーは、 このコンテンツを閲覧するにはログインが必要です。お願い ログイン. あなたは会員ですか ? 会員について
