東ソー GaNスパッタリングターゲット材製造開始 低コスト化に貢献

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2024年10月29日

 東ソーは、窒化ガリウム(GaN)スパッタリングターゲット材を開発し、同社グループの東ソー・スペシャリティマテリアル(山形県山形市)で製造を開始したと発表した。

   GaNは、

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