日立ハイテク 日立ハイテクの特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」 令和7年度関東地方発明表彰で「文部科学大臣賞」「実施功績賞」を受賞 発明協会 , 日立ハイテク , 令和7年度関東地方発明表彰 , 「文部科学大臣賞」と「実施功績賞」を受賞 2025年11月10日 日立ハイテクは7日、半導体計測技術に関する特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」（特許第7098743号、発明の名称：荷電粒子線システム）について、 コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
