JSRとFLOSFIAはこのほど、FLOSFIAがパワー半導体として展開する世界初のコランダム型酸化ガリウムと組み合わせて使う、新規P型半導体「酸化イリジウムガリウム」の量産における課題を解消する、新しいイリジウム系成膜材料を共同開発した。
「イリジウム」元素は半導体としての量産適応例がなく、イリジウム源として入手可能な原材料は限られており、共同開発では全く新しいイリジウム系成膜材料の開発に取り組んだ。
開発した新材料は、
JSR P型半導体の実用化、イリジウム系成膜材を開発
2023年3月17日