レゾナック AIシミュ技術、半導体材料開発を加速

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2024年8月8日

 レゾナックはこのほど、計算手法「第一原理計算」とAIを融合した新しいシミュレーション技術「ニューラルネットワークポテンシャル(NNP)技術」について、CMPスラリーによる半導体回路の研磨メカニズムのシミュレーションに初めて導入し、解明したと発表した。

CMPスラリーによるシリコンウェハー表面研磨のシミュレーション

 NNP技術は、

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