ナノインプリントレジスト

富士フイルム　ナノインプリントレジスト発売、製造コスト低減

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2024年5月27日

　富士フイルムはこのほど、ナノインプリントレジストを5月下旬より富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズを通じて販売すると発表した。

ナノインプリントリソグラフィ (キャノンのウェブサイトより引用)

　昨年、高性能先端半導体を低コスト・省電力で製造できる新しい製造技術「ナノインプリントリソグラフィ」が実用化された。ウエハー上のレジストに、

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