三菱ケミカルグループ 九州事業所における半導体向け合成石英粉 生産能力を増強 生産能力を増強 , 九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市） , 半導体製造工程で使用される合成石英粉「三菱合成石英」 , 三菱ケミカルグループ 2024年12月19日 三菱ケミカルグループは19日、半導体製造工程で使用される合成石英粉「三菱合成石英」について、九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市）の生産能力を増強することを決定したと発表した。 コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
三菱ケミカルグループ レジスト用感光性ポリマー、福岡で能力増強 三菱ケミカルグループ , 生産能力を増強 , フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」 , 九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市） , 各量産設備を新設 2024年6月17日 三菱ケミカルグループはこのほど、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため、九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市）において、ArF（フッ化アルゴン）フォトレジスト用およびEUV（極端紫外線）フォトレジスト用の各量産設備を新設すると発表した。稼働時期は、ArFフォトレジスト用が2025年10月、EUVフォトレジスト用が同年9月を予定している。 感光性ポリマー「リソマックス」 フォトレジスト用感光性ポリマーは、 コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
