ダイセル 半導体を守る保護材料、科学雑誌に掲載 保護材料「ナノひっつき虫」 , 科学雑誌「Microelectronic Engineering」に掲載 , ダイセル 2023年5月18日 ダイセルは15日、同社が開発したエッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫」に関する研究成果が、科学雑誌「Microelectronic Engineering」に掲載されたと発表した。 「ナノひっつき虫」 (緑)がシリコン窒化膜に選択的に付着するイメージ 天然由来の コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
