信越化学工業 QST基板事業、GaN剥離技術を共同開発

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2023年9月7日

 信越化学工業は5日、沖電気工業(OKI)と共同で、「QST」基板からGaNを剥離し異種材料基板へ接合する技術開発に成功したと発表した。

縦型GaNデバイス実現に向けた課題と、QST基板によるアプローチ

 これまで、GaNは横型デバイス

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