JSRは21日、米Inpria Corporation（Inpria社）へ追加出資を行ったと発表した。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目的に新たに募集をかけたSeries C Fundingへの参加となる。
Inpria社は設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでおり、現在、Sn（スズ）酸化物を主成分とするレジストは、学会などにおいてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成している。今回の出資を通じてJSRとInpria社は、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速していく考えだ。