旭化成 延岡の半導体製造工場の火災、事故調査を報告

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2021年9月15日

 旭化成は14日、昨年10月20日に発生した旭化成エレクトロニクスの半導体製造工場(宮崎県延岡市)の火災について、原因究明と再発防止策の検討を進めてきた結果、火災事故の発生に至る原因などを推定し再発防止策をまとめたと発表した。

 事故原因については、建屋内の損傷が激しく直接確認ができないため不明としたが、4階クリーンルーム内にある、半導体ウエハ製造設備であるチタン除去装置「SF6-3」が火災発生点と推定。その理由として、目撃証言や温度データ分析、「SF6-3」による異常信号の発報などを挙げた。

 出火原因については、電気的要因によるものと推定。類似装置を用いた検証により「SF6-3」内のケーブル端子部の接触不良または半断線による発火が考えられる。法令や社内規定の遵守状況については、問題がないことを確認した。

 火災の検知については、火災報知機を設置していたが、先に従業員が異臭を検知した後、煙感知器が発報。クリーンルームの気流循環構造により煙粒子が滞留しにくく、減光率が検知の基準に達するまで時間を要したものと推定される。消火活動については、すでに火勢が強くなっており、従業員の安全を考慮し避難を優先させた結果、初期消火活動が困難だった。

 同社グループは今回の火災事故を重く受け止め、保安事故の未然防止・被害拡大防止、安全文化醸成のため、グループ一丸となって取り組んでいく。なお、現在旭化成エレクトロニクスでは、被災工場で製造していた製品の、製造委託先での代替生産を順調に進めている。一部製品の供給は再開しており、続く製品の供給準備も計画通り進んでいる。

デンカ 青海工場モノシラン工室で火災発生、5人が火傷

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2020年9月9日

 デンカは7日午前10時ごろ、青海工場(新潟県糸魚川市)のモノシラン工室での機器解体作業中、火災による火傷災害が発生したと発表した。被災者は5人で、設備などの物的損害はない。また、生産や環境への影響もないとしている。現在、原因を調査しており、判明次第、関係当局の指導を仰ぎ適切な対策を実施する。

 同社は、「負傷された方、近隣住民の皆様、関係当局の皆様をはじめとする多くの方々にご心配をおかけし、深くお詫び申し上げます。当社では、原因を究明の上、再発防止に取り組んでまいります」とコメントしている。