大陽日酸 水素燃焼式排ガス処理装置、半導体向けに上市

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2024年6月20日

 大陽日酸はこのほど、水素(H2)ガスを燃料にすることで燃料由来のGHGを排出しない、半導体分野向け排ガス処理装置「Blisters Burner H2」の販売を開始した。

水素燃焼式排ガス処理装置「Blisters Burner H2」

 同装置は水素火炎を

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