NEDO 半導体ウエハーの転移とひずみの分布を可視化 半導体基板 , 結晶欠陥（転位） , カウントするシステムの構築 , NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構） , 名古屋大学原田俊太准教授 , Mipox 2022年7月13日 NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）はこのほど、名古屋大学（原田俊太准教授：未来材料・システム研究所）とMipoxが、半導体基板を製造する際に発生する結晶欠陥（転位）をカウントするシステムの構築と、ウエハー全体の コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
