昭和電工マテリアルズ CMPスラリー増産、茨城県の補助事業に 半導体集積回路向け , 平坦化用研磨材料「CMPスラリー」 , 茨城県 , 「次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金 , 対象事業 , 昭和電工マテリアルズ , 山崎事業所勝田サイト（茨城県ひたちなか市） 2022年11月28日 昭和電工マテリアルズは24日、山崎事業所勝田サイト（茨城県ひたちなか市）で計画している半導体集積回路向けの平坦化用研磨材料「CMPスラリー」の設備投資について、茨城県が創設した「次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金」の対象事業として認定されたと発表した。 茨城県の補助金認定（左から茨城県 大井川知事、昭和電工マテリアルズ 髙橋社長） CMPスラリーは、 コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について
