三井化学 次世代に向けCNTペリクル生産設備設置へ 三井化学 , 生産設備 , EUV露光用CNT(カーボンナノチューブ)ペリクル , 岩国大竹工場に設置 2024年5月29日 三井化学は28日、半導体のさらなる微細化、生産性向上に不可欠な次世代の高NA(開口数)、高出力EUV(極端紫外線)露光装置に対応したEUV露光用CNT(カーボンナノチューブ)ペリクルの生産設備を、岩国大竹工場に設置することを決定したと発表した。 EUVペリクル(左)とCNTペリクル(右) 採用が拡大しているEUV露光の次世代技術として、 このコンテンツを閲覧するにはログインが必要です。お願い ログイン. あなたは会員ですか ? 会員について