近接場ラマン顕微鏡（SNOMラマン分光装置）を開発

　東レリサーチセンター（TRC）はこのほど、堀場製作所の協力のもと、100㎚の高い空間分解能をもつ新しい近接場ラマン顕微鏡（SNOMラマン分光装置）を開発した。次世代のパワー半導体として期待される、炭化シリコン（SiC）製デバイスの性能に大きな影響を及ぼす残留応力について、従来比、約10倍の高い精度での分析が可能になる。

　SiCは高耐圧、