AGCエレクトロニクス（福島県郡山市）

　AGCはこのほど、100％子会社のAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）において、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定した。2024年1月より稼働を開始した後、段階的に増強を行うことで、同社グループの生産能力は2025年に現在の約30％増となる予定だ。

　EUVマスクブランクスは、

AGCはこのほど、グループ会社であるAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）での、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定したと発表した。2023年1月から生産を開始し、段階的に増強を行うことで同社グループのEUVマスクブランクス生産能力は2024年に現在の約2倍に拡大する。

　近年、半導体生産のEUVプロセスは、