imec（ベルギー）

三井化学　imecとCNTペリクル事業化で戦略的提携

, , , ,

2023年12月18日

　三井化学は15日、ナノエレクトロニクスとデジタル技術で世界をリードする研究・イノベーション拠点であるimec（ベルギー）との間で、極端紫外線（EUV）露光用のカーボンナノチューブ（CNT）膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。調印式は、「セミコンジャパン2023」開催期間中に東京都内で行われた。

Imecシニアバイスプレジデントのトーマス・ピリシュツク氏(左)と、三井化学ICTソリューション事業本部長の平原彰男専務執行役員(右)

　三井化学は、

コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い . あなたは会員ですか ? 会員について