三井化学は15日、ナノエレクトロニクスとデジタル技術で世界をリードする研究・イノベーション拠点であるimec（ベルギー）との間で、極端紫外線（EUV）露光用のカーボンナノチューブ（CNT）膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。調印式は、「セミコンジャパン2023」開催期間中に東京都内で行われた。
三井化学は、
三井化学 imecとCNTペリクル事業化で戦略的提携
2023年12月18日
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