昭和電工 パワー半導体向け6インチSiC単結晶基板を量産

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2022年3月30日

SICエピタキシャルウエハー

 昭和電工は28日、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体に使用されるSiCエピタキシャルウェハーの材料である、6インチ(150mm)のSiC単結晶基板(SiCウェハー)の量産を開始したと発表した。

 SiCパワー半導体は、現在主流のSi(シリコン)製パワー半導体に比べて

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