SKハイニックス – 日刊ケミカルニュース

JSR　EUV用金属レジスト、SK社のメモリに応用

2022年8月4日

　JSRはこのほど、グループ企業であるインプリアのEUV（極端紫外線）用金属酸化物レジストについて、SKハイニックスの最先端DRAMチップ製造への応用検討が加速していると発表した。