日立ハイテクは7日、半導体計測技術に関する特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」(特許第7098743号、発明の名称:荷電粒子線システム)について、
日立ハイテク 日立ハイテクの特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」 令和7年度関東地方発明表彰で「文部科学大臣賞」「実施功績賞」を受賞
2025年11月10日
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2025年11月7日