レゾナックは22日、半導体ドライエッチングガスの排ガス除害装置製品に使用される除害筒の再生費について、5月1日納入分から値上げする、と発表した。対象製品と改定幅は、「クリーンエスZ型再生費（酸性ガス除害装置）」が「現行価格の15％以上」「クリーンエスPF型再生費（地球温暖化ガス〈PFCガス〉除害装置）」が「同25％以上」。
排ガス処理装置「クリーンエス」は、半導体のドライエッチング工程などで排出される特殊ガスの毒性の無害化や、地球温暖化係数の高いガスを分解する装置。半導体の製造工程において、地球温暖化へのネガティブインパクトの低減に貢献している。乾式充填剤を用いた排ガス処理装置は、分解性能を維持するため、一定量のガスを処理する度に除害筒を交換する必要がある。
除害筒の再生を取り巻く事業環境は、昨今の原料価格高騰や、輸送費、その他のコスト上昇等、大変厳しい状況が続く。同社はこれまで、様々な施策を行い再生費の低減に努めてきたが、自助努力により吸収することが困難なことから、今後も製品の安定供給を維持するために、価格改定せざるを得ないと判断した。
