生産設備 – 日刊ケミカルニュース

三井化学　次世代に向けCNTペリクル生産設備設置へ

2024年5月29日

　三井化学は28日、半導体のさらなる微細化、生産性向上に不可欠な次世代の高NA（開口数）、高出力EUV（極端紫外線）露光装置に対応したEUV露光用CNT（カーボンナノチューブ）ペリクルの生産設備を、岩国大竹工場に設置することを決定したと発表した。　

　採用が拡大しているEUV露光の次世代技術として、

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2023年5月29日

　ADEKAはこのほど、千葉工場で建設を進めていたEUV（極端紫外線）フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成し、竣工式を行ったと発表した。今年8月からの稼働を予定している。

　5G通信の拡大やAI、

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