ADEKA EUVフォトレジ向け光酸発生剤、設備竣工 ADEKA , 千葉工場 , 竣工式 , EUV(極端紫外線)フォトレジスト向け光酸発生剤 , 生産設備 2023年5月29日 ADEKAはこのほど、千葉工場で建設を進めていたEUV(極端紫外線)フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成し、竣工式を行ったと発表した。今年8月からの稼働を予定している。 光酸発生剤増能設備 5G通信の拡大やAI、 コンテンツの残りを閲覧するにはログインが必要です。 お願い Log In. あなたは会員ですか ? 会員について