ダイセルは15日、同社が開発したエッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫」に関する研究成果が、科学雑誌「Microelectronic Engineering」に掲載されたと発表した。
天然由来の
ダイセル 半導体を守る保護材料、科学雑誌に掲載
2023年5月18日
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