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三菱ケミカルグループ　レジスト用感光性ポリマー、福岡で能力増強

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2024年6月17日

　三菱ケミカルグループはこのほど、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため、九州事業所・福岡地区（福岡県北九州市）において、ArF（フッ化アルゴン）フォトレジスト用およびEUV（極端紫外線）フォトレジスト用の各量産設備を新設すると発表した。稼働時期は、ArFフォトレジスト用が2025年10月、EUVフォトレジスト用が同年9月を予定している。

感光性ポリマー「リソマックス」

　フォトレジスト用感光性ポリマーは、

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