レゾナック ハイグレードSiCエピ、第三世代を開発

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2023年3月2日

 レゾナックは1日、パワー半導体の材料であるSiC(炭化ケイ素)エピタキシャルウェハーについて、現在量産している第2世代ハイグレードエピウェハーの品質をさらに改善した第3世代のハイグレードエピウェハーを開発し、量産を開始したと発表した。

 SiCパワー半導体は、

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