東レリサーチセンター（TRC）はこのほど、堀場製作所の協力のもと、100㎚の高い空間分解能をもつ新しい近接場ラマン顕微鏡（SNOMラマン分光装置）を開発した。次世代のパワー半導体として期待される、炭化シリコン（SiC）製デバイスの性能に大きな影響を及ぼす残留応力について、従来比、約10倍の高い精度での分析が可能になる。
SiCは高耐圧、
東レリサーチセンター 近接場ラマン顕微鏡開発、パワーデバイス解析
2023年3月23日
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