AGCはこのほど、100％子会社のAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）において、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定した。2024年1月より稼働を開始した後、段階的に増強を行うことで、同社グループの生産能力は2025年に現在の約30％増となる予定だ。
EUVマスクブランクスは、
AGC EUVマスクブランクス、段階的に生産能力増強
2023年5月9日
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