東ソーは、窒化ガリウム（GaN）スパッタリングターゲット材を開発し、同社グループの東ソー・スペシャリティマテリアル（山形県山形市）で製造を開始したと発表した。
GaNは、
東ソー GaNスパッタリングターゲット材製造開始 低コスト化に貢献
2024年10月29日
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