日立ハイテク　日立ハイテクの特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」令和7年度関東地方発明表彰で「文部科学大臣賞」「実施功績賞」を受賞

日立ハイテク , 令和7年度関東地方発明表彰 , 「文部科学大臣賞」と「実施功績賞」を受賞 , 発明協会

2025年11月10日

　日立ハイテクは7日、半導体計測技術に関する特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」（特許第7098743号、発明の名称：荷電粒子線システム）について、

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