大陽日酸 水素‐純酸素燃焼で粉体溶融球状化技術を開発

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2023年6月12日

 大陽日酸はこのほど、純酸素燃焼を用いた粉体溶融・球状化システム「CERAMELT」と水素燃焼技術を組み合わせ、無機質粉体溶融・球状化技術を開発したと発表した。半導体材料製造プロセスにおけるカーボンニュートラル実現に貢献する。

溶融・球状化前後でのアルミナ粒子の外観

 近年、半導体の使用領域拡大とともに、

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