三菱ケミカルグループはこのほど、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため、九州事業所・福岡地区(福岡県北九州市)において、ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用およびEUV(極端紫外線)フォトレジスト用の各量産設備を新設すると発表した。稼働時期は、ArFフォトレジスト用が2025年10月、EUVフォトレジスト用が同年9月を予定している。
フォトレジスト用感光性ポリマーは、
2024年6月17日
2024年6月4日
2024年4月9日
2024年2月9日
2023年8月22日
2023年8月14日
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