昭和電工は6日、電子材料用高純度ガス事業強化のため、中国の成都科美特特種気体と合弁で「成都科美特昭和電子材料」を四川省成都市に設立すると発表した。出資比率は昭和電工40％、成都科美特特殊気体60％で、来年1月に営業を開始する。
新会社では主に半導体の製造工程で使われる高純度FC-14（テトラフルオロメタン：CF4）の最終製造工程を担う。電子材料用ガスの主力製品の1つであるCF4は、量産使用からすでに40年以上が経過する、電子材料用ガスの中では最も基本・基礎的なエッチング用ガス。取り扱いの容易さに加え、ますます進む微細化加工にも適している。
また半導体向けだけでなく有機EL製造工程などでの使用も拡大していることから、今後も堅調に需要が増加していくと見込まれている。今回の事業強化策により、昭和電工のCF4事業は、稼働中の川崎事業所と合せて2拠点体制となる。
同社グループは、東アジア地区でのCF4の安定供給強化を実現し、今後も戦略事業である半導体プロセス材料事業の一層の拡充を図っていく考えだ。
