JSRは8日、NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）事業の「EUV（極端紫外線）露光装置向け次世代フォトレジスト技術開発」において、「N1.5向けMOR（メタルオキサイドレジスト）の研究開発」が採択されたと発表した。
「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」は、
JSR EUV向け次世代レジスト、NEDO事業に採択
2022年8月9日
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