JSR EUV向け次世代レジスト、NEDO事業に採択

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2022年8月9日

  JSRは8日、NEDO(新エネルギー・産業技術総合開発機構)事業の「EUV(極端紫外線)露光装置向け次世代フォトレジスト技術開発」において、「N1.5向けMOR(メタルオキサイドレジスト)の研究開発」が採択されたと発表した。

 「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」は、

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