金型汚れを5分の1、半導体製造の稼働率を向上
東レは22日、先端半導体向けPFASフリーのモールド離型フィルムを実用化したと発表した。
同フィルムは、モールド工程の
東レ、PFASフリーのモールド離型フィルム開発
2024年5月24日
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