三井化学は28日、半導体のさらなる微細化、生産性向上に不可欠な次世代の高NA（開口数）、高出力EUV（極端紫外線）露光装置に対応したEUV露光用CNT（カーボンナノチューブ）ペリクルの生産設備を、岩国大竹工場に設置することを決定したと発表した。
採用が拡大しているEUV露光の次世代技術として、
三井化学 次世代に向けCNTペリクル生産設備設置へ
2024年5月29日
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