AGCはこのほど、グループ会社であるAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）での、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定したと発表した。2023年1月から生産を開始し、段階的に増強を行うことで同社グループのEUVマスクブランクス生産能力は2024年に現在の約2倍に拡大する。
近年、半導体生産のEUVプロセスは、
AGC EUVフォトマスクブランクス、生産能力を倍増
2022年2月16日
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