半導体関連 – ページ 5 – 日刊ケミカルニュース

　Cleanpart ドレスデン社は、主にドイツ東部を中心に半導体の精密洗浄サービスを提供し、同エリアにおいて高いシェアを誇る。世界的に半導体需要が旺盛となっており、顧客の生産をサポートするため、洗浄能力を拡大する。今回の増強では、Cleanpart ドレスデン社の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、最新技術を用いた洗浄設備や洗浄工程での廃棄物を減らす環境配慮型設備などを導入する予定だ。

　三菱ケミカルグループの半導体精密洗浄事業は、アジア・欧米にそれぞれ拠点をもち、ワールドワイドに展開している。業界のグローバルリーダーとして、グループ会社と連携し品質の良い精密洗浄サービスの提供を通じて、顧客の継続的かつ効率的な半導体生産をサポートしている。今後も「MCSS」の統一ブランドのもと、グローバルに半導体関連のソリューションをワンストップで提供していく方針だ。

　Cleanpart ドレスデン社の佐藤龍平マネージングディレクターは、「ドイツ東部では、半導体の生産量が大幅に増加している。三菱ケミカルのビジョンである〝KAITEKI実現〟に基づき、この地域における顧客の長年のパートナーとして、新たな〝グリーン〟プロセスの設備を導入する。これによって洗浄能力を拡大し、生産をサポートしていく」と述べている。

SEMI　半導体製造装置販売額、2Qは四半期で最高に

半導体製造装置（新品） , 世界総販売額 , ＳＥＭＩ

2021年9月17日

　SEMIはこのほど、半導体製造装置（新品）の今年2Q（4-6月期）世界総販売額が248億7000万ドルとなったと発表した。これは前期（1Q、1-3月期）比で5％増、前年同期比では48％増の大幅な伸長となり、四半期ベースで過去最高を記録した。なお、このデータの詳細は、SEMIが発行する世界半導体製造装置市場統計（WWSEMS）で提供されている。

　地域別の2Q装置販売額を見ると、1位が中国（82億2000万ドル）、2位が韓国（66億2000万ドル）、3位が台湾（50億4000万ドル）、4位が日本（17億7000万ドル）となった。中国は前年同期比79％増、前期比38％増と大幅プラスとなっており、前期比9％減となった韓国を抜いて1位に浮上した。台湾も前期比では12％減とマイナス。日本は前期比7％増のプラスだった。また5位の米国（16億8000万ドル）と7位の欧州（7億1000万ドル）は、前期比で20％以上伸ばしており、今後の動向が注目される。

NEDOなど　世界最高出力のパルスレーザー装置を開発

新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） , 浜松ホトニクス , 半導体レーザー（LD） , パルスエネルギー出力250J（ジュール） , 産業用パルスレーザー装置

2021年7月13日

　新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）と浜松ホトニクスはこのほど、NEDOの「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」プロジェクトで半導体レーザー（LD）励起では世界最高のパルスエネルギー出力250J（ジュール）の産業用パルスレーザー装置を開発した。エネルギー増幅能力は、従来の同程度サイズの産業用パルスレーザー装置の2倍以上だ。

　レーザーは加工条件などのデジタル制御が容易で、IoTやAI（人工知能）によるクラウドを通じた生産設備の連携と自動化・無人化における最重要ツールの1つ。加工用レーザーには一定強度のレーザー光を連続出力するCW（連続波）レーザーと、短い時間間隔で繰り返し出力するパルスレーザーがあるが、CWレーザーは溶接や切断などレーザー加工の主流である。パルスレーザーは高強度のLDや大型のレーザー媒質がなく高出力装置がないため、レーザーピーニング（衝撃波による金属の硬化加工）などの利用以外に、応用開拓が進んでいない。

　今回、レーザー媒質として最適化した世界最大面積のセラミックス10枚を搭載し、光エネルギーの蓄積能力を約2倍に向上。また、増幅器の設計を見直し、新開発の小型LDモジュール8台を照射角度や位置などを工夫して搭載し、レーザー媒質の励起効率を約2倍に向上させた。さらに同社独自の高出力レーザー技術で装置全体の光学設計を最適化し、集光性や照射面に対する出力分布の均一性などビームの品質を上げた。これらにより、パルスエネルギー出力250Jの産業用パルスレーザー装置を実現した。

　この性能を維持したままビームサイズを4倍に拡大することで、1kJ級レーザーを実現できる可能性を確認した。これにより、レーザー加工技術の発展に加え、医療やエネルギー、新材料、基礎科学といった新分野でのレーザーの応用開拓も期待される。

　両者は今後、高効率レーザープロセッシング推進（TACMI）コンソーシアムと連携し、同装置を用いたレーザー加工実験と加工データを集約したデータベースの構築を進め、浜松ホトニクスは1kJの産業用パルスレーザー装置の実現に向けた研究に取り組んでいく。