ADEKAはこのほど、千葉工場で建設を進めていたEUV（極端紫外線）フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成し、竣工式を行ったと発表した。今年8月からの稼働を予定している。
5G通信の拡大やAI、
ADEKA EUVフォトレジ向け光酸発生剤、設備竣工
2023年5月29日
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