三井化学 imecとCNTペリクル事業化で戦略的提携 三井化学 , ナノエレクトロニクスとデジタル技術 , imec(ベルギー) , 次世代ペリクルの事業化 , 戦略的パートナーシップ契約を締結 2023年12月18日 三井化学は15日、ナノエレクトロニクスとデジタル技術で世界をリードする研究・イノベーション拠点であるimec(ベルギー)との間で、極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。調印式は、「セミコンジャパン2023」開催期間中に東京都内で行われた。 Imecシニアバイスプレジデントのトーマス・ピリシュツク氏(左)と、三井化学ICTソリューション事業本部長の平原彰男専務執行役員(右) 三井化学は、 このコンテンツを閲覧するにはログインが必要です。お願い ログイン. あなたは会員ですか ? 会員について 関連記事 三井化学 「IR優良企業特別賞」、記念表彰にも選定