三井化学 imecとCNTペリクル事業化で戦略的提携

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2023年12月18日

 三井化学は15日、ナノエレクトロニクスとデジタル技術で世界をリードする研究・イノベーション拠点であるimec(ベルギー)との間で、極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。調印式は、「セミコンジャパン2023」開催期間中に東京都内で行われた。

Imecシニアバイスプレジデントのトーマス・ピリシュツク氏(左)と、三井化学ICTソリューション事業本部長の平原彰男専務執行役員(右)

 三井化学は、

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